快科技6月5日消息，近日，台积电董事长魏哲家4日在股东大会上首度证实，已采购ASML最新High-NA EUV（高数值孔径极紫外光）设备，提前布局A14及更先进制程。 对于市场关注的下一代光刻机布局，魏哲家证实，台积电已采购ASML最新High-NA EUV设...